ТЕХНОЛОГИИ ФОРМИРОВАНИЯ ГЕТЕРОСТРУКТУР ИЗМЕРИТЕЛЬНЫХ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ 

Михайлов Петр Григорьевич, доктор технических наук, профессор, генеральный директор, Научно- производственный центр «Контрольные измерительные технологии» (Россия, г. Пенза, ул. Кустодиева, 23), pit_mix@mail.ru
Смогунов Владимир Васильевич, доктор технических наук, профессор, кафедра теоретической и прикладной механики и графики, Пензенский государственный университет (Россия, г. Пенза, ул. Красная, 40), pnzgu.tpmg@mail.ru
Вольников Михаил Иванович, кандидат технических наук, доцент, кафедра автоматизации и управления, Пензенский государственный технологический университет (Россия, г. Пенза, пр. Байдукова/ ул. Гагарина, 1а/11), vmi1972@yandex.ru

537.331.33

DOI

10.21685/2072-3059-2020-3-6 

Актуальность и цели. Актуальность работы обусловлена высокой гетерогенностью элементов и структур современных микроэлектронных преобразователей физических величин, предназначенных для работы в широком диапазоне температур и радиационных излучений. Цель: разработка технологий формирования гетерогенных элементов и структур высокотемпературных преобразователей
Материалы и методы. В качестве методов и средств исследований используется гетерология, физика твердого тела и микросистемной технологии.
Результаты. Разработаны гетерология технологии формирования полупроводниковых 3D-структур на основе легированного поликристаллического кремния.
Выводы. На основе анализа экспериментальных результатов формирования измерительных преобразователей на основе пьезорезисторов определены факторы, влияющие на электрофизические характеристики сенсорных элементов.

Ключевые слова

гетерология, технология, кремний, поликремний, структура, гетерогенность, преобразователь, чувствительный элемент, высокотемпературный, микроэлектронный. 

 Скачать статью в формате PDF

1. Михайлов, П. Г. Вопросы применения высокоустойчивых материалов в изделиях приборостроения / П. Г. Михайлов, А. П. Михайлов, Е. Д. Фадеев, В. П. Сазонова // Уральский радиотехнический журнал. – 2018. – Т. 2, № 2. – С. 7–25.
2. Михайлов, П. Г. Материалы микроэлектронных датчиков / П. Г. Михайлов, М. Б. Богонин, А. П. Михайлов // Новые промышленные технологии. – 2003. – № 3. – С. 19–21.
3. Warden, К. New intellectual materials and designs. Properties and application Text / K. Warden. – Mосква : Technosphere, 2006. – 224 p.
4. Чувствительные элементы высокотемпературных датчиков давления. Материалы и технологии изготовления / П. Г. Михайлов, Е. А. Мокров, Д. А. Сергеев, В. В. Скотников, В. А. Петрин, М. А. Чернецов // Известия Южного федерального университета. Технические науки. – 2014. – № 4. – С. 204–213.
5. Jackson, R. G. The latest sensors. Reference lane, from English / R. G Jackson. – Moscow : Technosphere, 2007. –380 p.
6. Gosalvez, M. A. Simulating anisotropic etching of silicon in any etchant: evolutionary algorithm for the calibration of the continuous cellular automaton / M. A. Gosalvez, N. Ferrando, Y. Xing // J.Micromech. Microeng. – 2011. – № 6. – P. 72–84.
7. Глушко, А. А. Параметры резистивных структур на поликристаллическом кремнии / А. А. Глушко, В. А Шахнов // Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. Приборостроение. – 2011. – № 1. – С. 67–75.
8. Михайлов, П. Г. Модификация материалов микроэлектронных датчиков / П. Г. Михайлов // Приборы и Системы. Управление, Контроль, Диагностика. – 2003. – № 5.
9. Ку знецова, М. А. Физико-технологические основы применения наноразмерной ионно-лучевой технологии при создании изделий нано- и микросистемной техники / М. А. Кузнецова, В. В. Лучинин, А. Ю. Савенко / Нано- и микросистемная техника. – 2009. – № 8. – С. 24–32.
10. .Чистяков, Ю. Д. Физико-химические основы технологии микроэлектроники / Ю. Д. Чистяков, Ю. П. Райнова. – Москва : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010. – 392 с.
11. Mikhaylov, P. G. Mathematical Modeling of Combined Sensor Information / P.G. Mikhaylov, Yu. N. Slesarev, V. A. Chulkov // Measuring Systems International Journal of Applied Engineering Research. – 2016. – Vol. 11, № 20. – P. 10332–10337. – URL: http://www.ripublication.com
12. Review on Surface Stress-Based Miniaturized Piezoresistive SU-8 Polymeric Cantilever Sensors / Ribu Mathew, A. Ravi Sankar // Nanomicro Lett. – 2018. – Vol. 2, № 10. – P. 35. – URL: https://doi.org/10.1007/s40820-018-0189-l 3 November 2017 / (Accepted: 2 January 2018).
13. Wearable smart sensor systems integrated on soft contact lenses for wireless ocular diagnostics / J. Kim, M. Kim, Lee et al. // Nat. Commun. – 2017. – № 8. – P. 14997.